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超纯水设备助力半导体元器件高质量生产

  在现代电子产业蓬勃发展的浪潮中,电子元器件作为核心基础零部件,占据着战略性新兴产业发展的关键地位,是支撑各类新兴产业前行的重要基石。近年来,电子元器件产业发展势头极为迅猛,产业规模持续扩张的同时,质量效益也显著提升,为经济发展注入源源不断的强劲动力。

  电子元器件产业链的上游涵盖多种重要原材料,像光电材料、半导体材料、磁性材料等。在半导体生产环节,超纯水的身影无处不在,从晶圆冲洗、化学稀释,到化工机械研磨,再到洁净室环境的加湿等众多场景,都离不开超纯水的参与。超纯水的质量优劣,直接与半导体的良品率挂钩,对半导体元器件的生产质量起着决定性作用。以超纯水设备为例,其采用独特的靶向离子交换系统,能够有效去除超纯水中的硼离子,使硼离子含量维持在极低水平,同时还能持续稳定地产出高纯度超纯水。凭借出色性能,该设备在晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀、试剂稀释、氟化工等多个领域得到广泛应用。

  超纯水设备融合了反渗透系统、EDI 装置以及抛光混床工艺,能近乎完全去除水中的导电介质,同时将水中的胶体物质、气体及有机物降低到极低含量。设备的 EDI 处理装置产生的废水较少,对环境友好,具备较高的环境效益和经济效益。经过技术升级的精混床,运行更加稳定,无需复杂操作就能确保出水水质符合芯片生产用水标准,为企业有效降低生产成本。

  超纯水设备产出的超纯水,满足 ASTM D5127 - 13 中 E1.3 水质指标,完全契合半导体元器件生产的用水需求。凭借持续稳定制备高品质超纯水的能力,超纯水设备有力推动半导体企业的发展,助力企业在激烈的市场竞争中脱颖而出,提升市场竞争力。

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