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超纯水(UPW)是指电阻率达到18 MΩ·cm(25℃)的水。这种水中除了H2O外,几乎没有什么杂质或其他离子。超纯水可以分为国标《电子级水》和美标《电子和半导体超纯水质标准》。那么,哪些行业能够用到纯度很高的超纯水呢?
1、光伏行业超纯水
太阳能属于可再生能源的一种,具有储量大、清洁无污染、可再生、就地可取等特点,因此推动新能源领域尤其是光伏行业的发展,成为了世界各国的共识。目前国内的太阳能光伏产业主要生产资源集中在:多晶硅提纯,拉单晶,多晶硅铸锭,切片,太阳能电池片,组件上的等,这些生产工艺中主要动力需求包括:超纯水,电源,特气。
2、电子芯片行业超纯水
芯片的制造过程非常复杂,其中芯片清洗是一个非常重要的步骤,而超纯水恰好在其中起着重要的作用。电子芯片的生产,几乎每道工序需要超纯水进行清洗,超纯水中的离子含量对产品有着很大的影响。因此,拥有一套可以连续稳定地制备高品质超纯水的超纯水设备,生产出出水水质符合芯片生产用水要求十分重要。
3、硅晶圆材料超纯水
什么是硅晶圆?晶圆就是半导体电路所用的硅晶片,简单来说就是一种承载物,为了制成半导体积体电路的原材料。作为半导体电路的重要组成部分,硅晶圆的生产至关重要。硅晶圆对纯度要求很高,因此对于水质也有着超高的要求,其清洗用水多为高质量的超纯水,超纯水质量也影响着硅晶圆产出的质量。
4、TFT显示材料行业超纯水
TFT即薄膜场效应晶体管,属于有源矩阵液晶显示器中的一种。一般TFT的反应时间比较快,约80毫秒,而且可视角度大,一般可达到130度左右,主要运用在高端产品。TFT显示材料对用水的要求是非常精细和严格的,必须要用电阻率大于18MΩ*cm的超纯水。
5、氢氟酸行业用超纯水
电子级氢氟酸是氟精细化学品的一种,主要用于去除氧化物,是半导体制作过程中应用较多的电子化学品之一。中国电子氢氟酸进入成熟阶段,仍需要不断探索,毕竟高品质电子级氢氟酸的制备除需要进行工艺提纯创新外,还需要配套产业的技术创新。
无水氢氟酸或工业级氢氟酸通过精馏、超纯水吸收后纯化,并经0.2μm以下超滤等工序后,可制得高纯且超净的电子级氢氟酸,技术难度大。由此可知超纯水对于氢氟酸行业的重要性。
以上就是小编为大家介绍的超纯水的应用领域。超纯水纯度高,目前在电子半导体行业应用广泛。今后小编会继续为大家介绍超纯水的相关内容,请大家继续关注。
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